Komponenty ložisek Granite Air-: Hlavní výhody aplikace pro ultra-vysoko-rychlostní stupně pohybu

Všechny vzduchové-speciální{1}}žulové komponenty UNPARALLELED využívají vlastní-vyvinutý UNPARALLELED® černý vysoce-hustotní granit s hustotou suroviny 3100 kg/m³. Vyznačuje se hustou a jednotnou krystalovou strukturou a poskytuje mnohem lepší komplexní fyzikální vlastnosti ve srovnání s běžnými mramorovými, litinovými a hliníkovými slitinami, dokonale se přizpůsobuje vysokým-pracovním podmínkám 2 m/sa vysokému zrychlení 3G.
Ultra-nízká tepelná roztažnost eliminuje posun vztažného bodu způsobený vysokou-rychlostí generování tepla
Koeficient tepelné roztažnosti žuly je pouze-třetinový ve srovnání s ocelí. Místní nárůst teploty generovaný vysokorychlostním vratným pohybem stupňů a nepřetržitým vyzařováním tepla z lineárních motorů nedeformuje vzduchové-vodicí povrchy a nosné-zátěžové{4}}povrchy. Během vysokorychlostního skenování a 24{8}hodinového nepřetržitého provozu výrobní linky zůstává rovinnost a rovnoběžnost bez tepelného driftu, což zajišťuje stabilní výstup přesnosti opakovaného polohování na úrovni nanometrů.
Přirozené vysoké tlumení potlačuje vysoko{0}}rychlostní rezonanci a vibrace
Hustá krystalická struktura přichází s vynikající schopností tlumit vibrace, která je schopna absorbovat více než 90 % vysokofrekvenční vibrační energie-. Samovolně buzené vibrace generované častým spouštěním{4}}zastavováním a vysokorychlostním vratným pohybem vzduchových-stupňů ložisek, stejně jako vnější vibrační interference z dílenských vývěv, manipulátorů a okolních laserových zařízení, mohou být rychle ztlumeny žulovými základnami, čímž se zabrání posunu optické dráhy a skokovým inspekčním datům při vysokorychlostním pohybu.-
Ne-magnetické, čisté a korozi{1}}odolné, vhodné pro čisté prostory pro polovodiče
Tento přírodní-kovový materiál je zcela nemagnetický-a neabsorbuje kovový prach a řezné nečistoty. Odolává korozi působením kyselin, zásad, fotorezistentních rozpouštědel a elektrolytů. Povrch je ošetřen speciálním bezprašným-leštěním, bez srážení kovových iontů a stopových těkavých látek, v souladu se standardy čistoty polovodičů. Eliminuje rizika kontaminace waferů a optických čoček a vyhovuje výrobním scénářům s vysokou-čistotou, jako je kontrola čipů a vakuové potahování.
Mimořádně{0}}vysoká tvrdost poskytuje dlouhodobou-trvalou odolnost proti opotřebení, nedochází k přesné degradaci po dlouhodobém-dlouhodobém vysokorychlostním{3}}provozu
Díky Mohsově tvrdosti 6–7 odolává oděru a nárazu. Vztažné povrchy vodítek vzduchových-ložisek se po dlouhodobém-dlouhodobém vysokorychlostním{5}}plovoucím klouzání neopotřebují, což eliminuje potřebu častého přebrušování a kalibrace, přičemž životnost přesahuje 30 let. Výrazně snižuje pozdější náklady na údržbu a výměnu měřicích nástrojů u výrobců špičkových-zařízení. Všechny žulové suroviny jsou dodávány na naše exkluzivní skladiště o rozloze 20 000 ㎡ pro prodloužené přirozené stárnutí, aby se plně uvolnilo vnitřní zbytkové pnutí kamene a zabránilo se pomalé deformaci součástí a nevyváženým vzduchovým -mezeram ložisek při dlouhodobém-vysokém{15}} zatížení.
II. Integrované vzduchové-procesy konstrukce ložisek přizpůsobené ultra-vysoko-rychlostním požadavkům na dynamický pohyb
Běžné dělené kovové základny vzduchových{0}}ložisek trpí slabou tuhostí, únikem vzduchu ve spojovacích mezerách a snadnou deformací při vysokorychlostním dynamickém zatížení. Přizpůsobené integrované žulové vzduchové-komponenty UNPARALLELD pro ultra-vysoko{5}}rychlostní stupně integrují vestavěné otvory, uzavřená vzduchová-vodítka ložisek, montážní drážky ve tvaru T- a polohovací základny pro těžké-zátěže. Několik optimalizovaných konstrukčních procesů zajišťuje{10}}vysoké pracovní podmínky.
Integrální monolitické tvarování, vysoká tuhost, aby odolala nárazům při vysokých{0}}rychlostech
S využitím ultra-velké kapacity továrny na zpracování komponentů vyrábíme integrované žulové vzduchové-ložiskové základny s hmotností jednoho-kusu do 100 tun a celkovou délkou 20 metrů. Bez segmentového spojování je celková tuhost výrazně zvýšena. Při vystavení vysokému zrychlení 3G bez-zátěže a nárazového zatížení z nouzového vysokorychlostního zastavení- se základna neohne a nezdeformuje. Vzduchová-mezera ložisek trvale udržuje stabilní vzduchový film o tloušťce 5~10 μm, což eliminuje zadrhávání a posun trajektorie při vysoké{14}}rychlosti pohybu.
Přesný proces broušení vestavěných-škrticích otvorů
Otvory škrticí klapky pro vzduchová-ložiska jsou přesně opracovány přímo do žulového vodícího tělesa. Poloha otvoru, clona a hloubka škrticí klapky jsou řízeny broušením na úrovni nanometrů-, aby bylo zajištěno rovnoměrné a stabilní proudění vzduchu. Ve srovnání s konstrukcemi s externími škrtícími klapkami neuniká proudění vzduchu při pohybu vysokou rychlostí-, plovoucí síla je rovnoměrně rozložena, pohyb funguje hladce,-neprokluzuje, kolísání rychlosti je lepší než 0,01 %, dosahuje rozlišení pohybu 1nm a přesnost opakování polohy 50nm.
Heavy-Load Air-Uspořádání podpěry ložisek pro rovnoměrné rozložení vysokorychlostního{2}}dynamického zatížení
Simulace namáhání pomocí konečných prvků se provádí podle pohybu stupně, maximální provozní rychlosti a zrychlení, aby se optimalizovalo rozložení spodních vzduchových -podpěrných bodů ložisek. Dynamická zatížení generovaná-rychlým vratným pohybem jsou rovnoměrně rozložena po celé žulové základně, což zabraňuje místní koncentraci napětí, která by vedla ke zborcení vodicích ploch a selhání vzduchového-ložiska. Přizpůsobitelné T-drážky a závitové montážní otvory jsou vyhrazeny tak, aby vyhovovaly montážním požadavkům lineárních motorů, lineárních kodérů, vakuových adsorpčních modulů a šesti-mechanismů jemného{7}}ladění.
III. Kompletní-řetězová přesná výroba a kontrola zaručující přesnost dodávky ve vysokorychlostních-stupních
UNPARALLELED se drží základní filozofie: „Přesné výroby nelze dosáhnout bez přesného měření“. S podporou kompletního ultra-systému přesného obrábění, výrobního prostředí s konstantní -teplotou{3}}bez prachu a světového-systému metrologické kontroly zajišťujeme, že každá sada součástí žulových vzduchových{5}}ložisek splňuje globální standardy přijímání zařízení pro vysokou-přesnost.
Skupina provozuje dva standardizované výrobní závody o celkové ploše 200 000 ㎡, vybavené dílnou pro přesné obrábění polovodičů bez-konstantní{5}}teploty a konstantní-vlhkosti-. Podlaha dílny je integrálně vylita z vojenského -kvalitního ultra{10}}tvrdého betonu o tloušťce ne menší než 1000 mm. Dílnu obklopují příkopy pro izolaci vibrací (500 mm široké a 2000 mm hluboké), spárované s tichými systémy mostových jeřábů, které plně izolují rušení vibrací a kolísání teploty/vlhkosti během obrábění a zaručují konzistentní a stabilní přesnost broušení pro vodicí-povrchy se vzduchovými ložisky.
Společnost je vybavena čtyřmi extra-velkými CNC bruskami pocházejícími z Tchaj-wanu Nantong, každá v hodnotě více než 500 000 USD, pro dokončení hrubého tváření součástí vzduchových-ložisek. Zkušení řemeslníci v oblasti broušení s více než 30letými zkušenostmi v oboru ručně upravují vzduchová-vodítka ložisek a nosné{7}}základní povrchy, spoléhající na jemné hmatové vnímání na úrovni mikronů{8}}, aby bylo dosaženo nanometrové rovinnosti přesného obrábění. Těmto řemeslníkům po celém světě přezdívají zákazníci polovodičových a optických zařízení „chodící elektronické úrovně“.
Plná-rozměrová přesnost před dodáním využívá přední světové-mezinárodní metrologické přístroje, včetně německých úchylkoměrů Mahr 0,5μm, drsnoměrů Mitutoyo, švýcarských elektronických hladin WYLER a britských laserových interferometrů Renishaw. Kompletní kontroly zahrnují rovinnost, kolmost, rovnoběžnost, přesnost polohování škrticích otvorů a rovnoměrnost vzduchových-mezer ložisek. Všechny měřicí přístroje mají oficiální kalibrační certifikáty vydané Jinan Metrology Institute a Shandong Metrology Institute, se všemi naměřenými hodnotami plně návaznými na China National Institute of Metrology. Data obrábění produktů jsou kompatibilní s celosvětovými mainstreamovými metrologickými specifikacemi včetně DIN, ASME, JIS, GB, BS, GOST a EIE. Zámořští výrobci zařízení nevyžadují žádnou sekundární kalibraci, přizpůsobují se úplnému výzkumu a vývoji, sériové výrobě a scénářům kontroly vysokorychlostních pohybových zařízení po celém světě.
Dvojí výhody tření-Volné vzduchové ložisko + vysoká-Stabilita žula: žádné přilnutí-Prokluzování nebo zpoždění při vysoké-rychlosti pohybu
Stlačený vzduch vytváří vzduchový film na úrovni mikronů -pro realizaci bez-dotykové plovoucí podpěry s koeficientem tření až 0,0005, čímž se zcela eliminuje kluzný-efekt mechanických vodítek. Trajektorie vratného pohybu vysokou rychlostí a vysokým zrychlením se vyznačují vysokou opakovatelností, s dynamickou chybou určování polohy řízenou v sub-mikrometrovém rozsahu, vhodné pro vysokorychlostní-skenování destiček, přímé laserové zápisy a scénáře vysoce přesného interferometrického měření-.
Vysoká izolace vibrací + ultra-nízká tepelná deformace: nulový posun kontrolních dat při nepřetržitém vysokorychlostním-provozu
Žulové substráty poskytují dvojí účinnost tlumení vibrací a teplotní stabilitu. Etapy mohou běžet bez přerušení vysokou rychlostí po dobu 24 hodin. Při dlouhodobém nepřetržitém skenování a pracovních podmínkách dávkové kontroly zůstávají počátky -bez offsetu, bez zkreslení-zobrazení a bez skoků{5}}kontrolních dat, což výrazně zlepšuje míru nepřetržitého využití výrobní linky a výtěžnost produktu.
Čistý, ne-magnetický a odolný proti korozi-, přizpůsobený drsnému prostředí čistých polovodičových prostor
Na rozdíl od kovových základen náchylných k magnetizaci a vysrážení kovových iontů, součásti žulových vzduchových-ložisek splňují standardy kontroly čistoty polovodičů. Vyhovují složitým dílenským podmínkám s bezprašným-prostředím a těkavými chemickými rozpouštědly, jako je fotolitografie, balení destiček, přesná kontrola baterií a vakuové nanášení perovskitu, bez rizika kontaminace destiček a optických součástí.
Dlouhá životnost a nízké nároky na údržbu, snížení nákladů na celý-životní cyklus špičkového-zařízení
Třecí -vzduchová-struktura ve spojení s otěruvzdornými žulovými podkladovými povrchy{2} přináší téměř nulové ztráty otěrem, což eliminuje časté rozebírání, přebrušování a kalibraci. Substrát je odolný proti korozi-a bez deformací při tečení, čímž si zachovává stabilní přesnost po dlouhodobém-provozu. Výrazně snižuje prostoje zařízení kvůli údržbě a výměně náhradních dílů a snižuje komplexní provozní náklady pro výrobce zařízení a továrny koncových{8}}uživatelů.
V. Široké aplikační scénáře ve špičkovém-zařízení a uznání na globálním trhu
Využitím mnoha předností jádra, včetně prvotřídních vlastností materiálu, integrované vzduchové{0}}struktury ložisek, nanometrové přesnosti obrábění, bezprašné{1}}izolace vibrací a globální metrologické kompatibility, se BEZKONKURENČNÍ žulové vzduchové-komponenty ložisek staly standardními referenčními díly pro ultra{3}}vysoko{0}}vysokorychlostní-předběžně používaná zařízení{} po celém světě ve všech kategoriích pohybu{}:}
Zařízení pro kontrolu polovodičů: vysokorychlostní-stupně pro skenování vad waferů, optické inspekční platformy AOI, vysokorychlostní-platformy lineárního motoru XY pro detekci vad X-záření;
Optická zařízení a zařízení pro laserové zpracování: Laserové přímé zapisovací stroje, optické interferometry, vysokorychlostní{0}}polohovací stoly pro vysoce-přesnou kontrolu čoček;
Nové energeticky přesné kontrolní zařízení: Vysoko-rychlostní kontrolní platformy pro separátor lithiových baterií, vakuové vysokorychlostní-pohybové moduly pro nanášení tenkých vrstev perovskitu;
Metrologické laboratoře a přesná měření v letectví: Kalibrační platformy pro určování polohy nanometrů pro národní metrologické instituty, vysokorychlostní{0}}přesná měřící zařízení pro drobné letecké součástky.
V současné době se NEPARALELNÍ žulové vzduchové-komponenty ložisek vyvážejí na trhy s přesným vybavením po celém světě, což hluboce podporuje podniky z Fortune 500 a přední světové výrobce přesného řízení pohybu včetně GE, Apple, Samsung, Bosch, THK, HIWIN, MISUMI a Akribis. Udržujeme dlouhodobou technickou spolupráci na vysoce-rychlostních přesných srovnávacích technologiích se špičkovými výzkumnými ústavy a vládními metrologickými úřady: National University of Singapore, Nanyang Technological University, Stockholm University, metrologické ústavy v Evropě, Americe a Rusku, stejně jako Zhejiang University, Xi'an Jiaotong Mechanical University, Čínská akademie věd a Phangchunský institut optiky a domácí optika Changchun. Vysoká-dynamická stabilita, bezprašná{7}}adaptabilita a globální metrologická kompatibilita našich komponentů žulových vzduchových{8}}ložisek získaly autoritativní uznání od celosvětového průmyslu přesných zařízení.
Průmyslový závěr
Globální průmyslová odvětví výroby polovodičů, optické mikrovýroby a nových energetických přesných inspekcí neustále směřují k vyšší provozní rychlosti, vyššímu zrychlení a dynamické přesnosti polohování na-úrovni nanometrů. Výkon srovnávacích nosičů pro ultra-vysoko{3}}rychlostní fáze pohybu přímo určuje dynamickou přesnost zařízení, výtěžnost výrobní linky a dlouhodobou-spolehlivost. UNPARALLELED Group bude důsledně prosazovat základní firemní hodnoty „Otevřenost, inovace, integrita, jednota“ a praktikovat podnikatelského ducha „Odvažte se převzít vedení; Odvažte se inovovat“. Průběžně budeme opakovat procesy úprav pro-žulu s vysokou hustotou, integrovaný konstrukční návrh vestavěných vzduchových-škrtících klapek ložisek, bezprašnou{9}}povrchovou úpravu vyhrazenou pro polovodiče, nanometrové{10}}broušení na úrovni tří-vzduchových{12}}součástí ložisek a kompletní{1}kontrolní schéma ložisek a granitu produkty vzduchových-ložisek přizpůsobené pro novou-generaci vysokorychlostních{16}}detekčních destiček, laserové zpracování a nová zařízení pro energetické potahování. V budoucnu bude skupina dále prohlubovat své rozvržení v podpůrné stopě pro ultra{18}}přesnost pohybu. Poskytujeme kompletní řešení pro zajištění přesnosti pro vysokorychlostní pohybové stupně globálním-výrobcům přesných zařízení prostřednictvím standardizovaných, ultra{22}}čistých, vysoce vibračních-tlumení, dynamicky stabilních při vysokých rychlostech a celosvětově univerzálních referenčních komponent se vzduchovými-žulovými{24}}ložisky, které pomáhají překonávat celosvětovou dynamickou přesnost{25} průmyslové výroby neustále postupovat směrem k naší dlouhodobé -vizi rozvoje „stát se světovým{27}}podnikem, kterému veřejnost důvěřuje a miluje jej“.