V oblasti vysokorychlostních-vzduchových{1}}platforem s lineárním pohybem, optických skenovacích platforem a pracovních stolů se vzduchovými{2}}plochami pro kontrolu destiček určuje komplexní výkon substrátu přímo hladkost chodu vzduchových ložisek, opakovatelnost pohybu a dlouhodobou-stabilitu provozu. Mnoho výrobců zařízení opakovaně porovnává hliníkové slitiny, litinu, keramiku a různé kamenné materiály a většina z nich nakonec vybírá jako hlavní substrát pro vzduchové nosné plošiny černou žulu s vysokou{5}}hustotou. Je všeobecně známo, že žula poskytuje vynikající tlumení vibrací. Málokdo si však uvědomuje, že černá žula má mnohonásobné síly jádra, které nemohou být replikovány jinými materiály za zvláštních provozních podmínek vzduchových ložiskových systémů. UNPARALLELED se již dlouho specializuje na zakázkové ultra-přesné žulové komponenty a dodává základní rámy, nosníky a pracovní stoly výrobcům zařízení pro vzduchová ložiska po celém světě. Na základě bohatých praktických zkušeností z projektů analyzujeme jedinečnou hodnotu černé žuly pro vzduchové nosné plošiny.
Systémy vzduchových ložisek realizují bez{0}}kontaktní pohyb v závislosti na tenké vrstvě-plynu pod vysokým tlakem. Drobná deformace substrátu, mikro-vlnění povrchu a tepelná deformace přímo povedou k chvění posuvníku a kolísání tlaku vzduchu. Hliníková slitina je lehká, ale vyznačuje se relativně vysokým koeficientem tepelné roztažnosti, díky čemuž je platforma náchylná k deformaci při změnách okolní teploty. Litina se může pochlubit příznivou tuhostí, ale během-dlouhodobého provozu trpí korozí, nadměrnou vlastní hmotností-a omezenou tlumicí kapacitou. Keramika vykazuje vynikající tepelnou stabilitu, ale monolitické tvarování velkých{9}}rozměrů je obtížné s vysokými náklady na obrábění. Běžná světlá-žula má nerovnoměrné vnitřní rozložení minerálů a vyšší pórovitost, což má za následek nedostatečné utěsnění po povrchové úpravě, což ji činí nevhodnou pro kontinuální přívod plynu do vzduchonosných konstrukcí. Naproti tomu černá žula UNPARALLELED® se vyznačuje hustě a rovnoměrně uspořádanými krystaly s extrémně nízkou porézností. Po ultra-přesném lapování dosahuje povrch plošiny vynikající těsnosti, stabilně udržuje jednotný vzduchový film, zabraňuje místnímu úniku-plynu pod vysokým tlakem a zajišťuje nepřetržitý stabilní provoz vzduchových ložisek.
Potlačení vibrací je nepostradatelným indikátorem pro vzduchové nosné plošiny. Vysokorychlostní vratný pohyb a vnější poruchy v dílně vytvářejí vibrace. Jakmile se vibrace přenesou na pracovní stůl se vzduchovým-ložiskem, destabilizuje to ultra-tenký vzduchový film, sníží přesnost polohování a rozmaže optické zobrazení. Vibrace pomalu ubývají a u kovových materiálů vydrží déle. Pro srovnání, černá žula má vlastní vysoké tlumicí vlastnosti; vibrační energie může být rychle absorbována vnitřními krystalovými rozhraními kamene, což účinně snižuje riziko rezonance. Zejména u vysokorychlostních vzduchových ložisek na dlouhé-cesty- mohou být nárazové vibrace generované během rozjezdu a zastavení rychle ztlumeny žulovým substrátem, aby byl pohybový konec za všech okolností stabilní. To je klíčový důvod, proč je černá žula upřednostňována pro platformy vzduchových ložisek nasazené ve vysoce přesných zařízeních pro optickou kontrolu a metrologii polovodičů.
Rozměrová tepelná stabilita určuje kapacitu vzduchového ložiskového zařízení pro nepřetržitý--hodinový provoz. V dílnách dochází k menším denním teplotním výkyvům a nepřetržitý provoz zařízení také vytváří mírné teplo. Černá žula má extrémně-nízký koeficient tepelné roztažnosti a její tepelná roztažnost a smršťování při změnách teploty je mnohem menší než u kovových materiálů. Plošiny vzduchových ložisek obsahují přesné mikropóry, drážky pro přívod vzduchu a polohovací referenční plochy. Jakákoli jemná deformace změní vzduchovou ložiskovou mezeru. Použití substrátů z černé žuly minimalizuje kolísání tloušťky vzduchového filmu způsobené tepelným posunem, snižuje posun přesnosti po delším provozu zařízení a omezuje časté kalibrace, čímž se přizpůsobuje 24-hodinové nepřetržité hromadné kontrole v továrnách.
Plošiny pro vzduchová ložiska obvykle rezervují drážky pro přívod vzduchu, závitové montážní otvory a vakuové adsorpční zóny, což klade přísné požadavky na obrobitelnost a strukturální stabilitu substrátů. Prémiová černá žula se vyznačuje střední tvrdostí a homogenní strukturou. Podporuje složité obrábění, jako je drážkování, vrtání a vyhlubování, a odolává místní koncentraci napětí a praskání po zpracování. Kromě toho je materiál odolný proti oxidaci-a necitlivý na vlhkost, což eliminuje potřebu dalších ochranných nátěrů a odstraňuje riziko kontaminace vzduchového filmu způsobeného odlupováním nátěru. V čistých prostorách je nasazeno mnoho vzduchových ložiskových zařízení. Černá žula si zachovává stabilní fyzikálně-chemické vlastnosti a neuvolňuje pevné částice, což odpovídá bezprašným{6}}výrobním standardům v polovodičovém a optoelektronickém průmyslu.
Monolitické tvarování dále zvyšuje aplikační hodnotu černé žuly. Velké nosníky vzduchových ložisek s dlouhým{1}}pojezdem a mimořádně-velké čtvercové pracovní stoly se vzduchovými ložisky lze zpracovávat z jednoho kamenného polotovaru a dosáhnout tak bezešvých monolitických struktur. Spojené struktury nevyhnutelně obsahují mezery na rozhraní, které snadno spouští únik plynu. Kromě toho nekonzistentní tuhost kloubů vede k nerovnoměrné deformaci při dlouhodobém-zatěžování. Monolitické komponenty z černé žuly se vyhýbají výše uvedeným nevýhodám díky vyvážené celkové tuhosti a jednotné referenční přesnosti. S podporou dílny pro čištění konstantní{10}}teploty a vlhkosti ve třídě 10 000 provádíme ultra{11}}přesné lapování a vícerozměrné{12}}testování přesnosti, abychom zaručili, že rovinnost a zvlnění pracovních stolů splňují přísné povrchové specifikace požadované pro provoz vzduchových ložisek.
Žádný materiál nemůže vyhovovat všem pracovním podmínkám. Nicméně pro platformy pro pohyb vzduchových ložisek vyžadující sub-mikrometrovou a nanometrovou přesnost integruje černá žula několik charakteristik včetně nízké expanze, vysokého tlumení, nízké poréznosti, stabilního fyzikálně-chemického výkonu a proveditelnosti pro-monolitické obrábění ve velkém měřítku, což přináší nenahraditelné komplexní výhody. UNPARALLELED nepřetržitě optimalizuje technologii obrábění černé žuly. Vyvíjíme exkluzivní řešení pro zpracování zaměřená na drážky pro přívod vzduchu, těsnicí povrchy a montážní reference platforem vzduchových ložisek a poskytujeme dlouhodobě -stabilní řešení referenčních žulových komponent pro špičkové-plošiny pro pohyb vzduchových ložisek.