Žulové základny se vzduchovými ložisky poskytují ultra{0}}stabilní podporu vysoce přesných pohybových systémů bez tření, zlepšují přesnost poloh, opakovatelnost a tlumí vibrace. UNPARALLELED® vzduchové žulové základny jsou navrženy tak, aby podporovaly polovodičová, optická a automatizační zařízení vyžadující řízení pohybu na nanometrové-úrovni a extrémní stabilitu systému.
Co je vzduchová žulová základna?
Anvzduchová žulová základnakombinuje stabilitu přesné žuly s technologií vzduchových ložisek, která zavěšují pohyblivé součásti na tenkou vrstvu stlačeného vzduchu. To eliminuje mechanický kontakt, snižuje tření, opotřebení a vibrace a zároveň umožňuje vysokou-rychlost a vysokou{2}}přesnost pohybu.
Proč je pohyb bez tření důležitý?
Tření způsobuje v pohybových systémech ne-lineární chyby, opotřebení a teplo. Použitím vzduchových ložisek na žulovém podkladu:
Pohyb je plynulý a opakovatelný
Opotřebení je eliminováno
Výkon systému je udržován v průběhu času
Základny vzduchových ložisek UNPARALLELED® maximalizují přesnost pohybu pro mimořádně-přesné aplikace.
Jak žula podporuje stabilitu?
Žula poskytuje rozměrovou stabilitu, tlumení vibrací a tuhost. Při spárování se vzduchovými ložisky:
Tepelný drift je minimalizován
Vibrace jsou přirozeně absorbovány
Chyby vysokofrekvenčního pohybu jsou omezeny{0}
Tato kombinace zajišťuje přesnost polohování na úrovni nanometrů{0}} u souřadnicových měřicích strojů, optických stolků a polovodičových kontrolních systémů.
Vzduchové ložisko vs. tradiční ložiskové základny
| Funkce | Vzduchová žulová základna | Základna kuličkového/kluzného ložiska | Litinová základna |
|---|---|---|---|
| Tření | Blízko nuly | Mírný | Mírný |
| Nosit | Minimální | Mírný | Vysoký |
| Tlumení vibrací | Vynikající | Veletrh | Mírný |
| Tepelná stabilita | Vynikající | Mírný | Mírný |
| Opakovatelnost | Nanometrová-úroveň | Úroveň Micron{0}} | Úroveň Micron{0}} |
| Údržba | Nízký | Mírný | Vysoký |
| Životnost | 20+ roky | 5–10 let | 10–15 let |
Které aplikace mají největší užitek?
Kontrola polovodičových destiček
Etapy litografie
Optická interferometrie
Ultra{0}}přesná automatizace
Vysoce přesné měření CMM-
FAQ
Co je vzduchová žulová základna?
Jedná se o žulovou platformu se vzduchovými ložisky umožňujícími pohyb bez tření-s vysokou přesností.
Proč kombinovat žulu se vzduchovými ložisky?
Žula poskytuje tuhost a stabilitu, zatímco vzduchová ložiska eliminují tření a opotřebení.
Mohou tyto základny dosáhnout opakovatelnosti na-úrovni nanometrů?
Ano, správně navržené základny UNPARALLELED® podporují pohyb v nanometrové{0}}úrovni.
Jsou vzduchové žulové základny vhodné pro-rychlost pohybu?
Ano, vzduchová ložiska umožňují hladký, vysokorychlostní{0}}pohyb s minimální chybou.
Vyžadují údržbu?
Vyžaduje minimální údržbu, především přívod vzduchu a čistotu.
Která průmyslová odvětví používají vzduchové žulové základny?
Polovodiče, optika, přesná automatizace, metrologie a ultra{0}}přesná výroba.