S neustálým rozvojem špičkové{0}}přesné výroby, optické kontroly AOI, metrologie polovodičových destiček, souřadnicových měřicích strojů a platforem lineárních motorů{1}}se vzduchovým ložiskem zvýšily požadavky na přesnost referenčních nosičů. Černá žula s vysokou-hustotou se stala hlavním referenčním materiálem díky svým jedinečným materiálovým vlastnostem. Nicméně, zda lze plně využít vynikající vlastnosti surového kamene, do značné míry závisí na procesech povrchové úpravy. Mnoho kupujících vzneslo otázky: výbuchy žuly ze stejného lomu poskytují referenční platformy s výrazně odlišnou přesností po zpracování. Hlavní rozdíl spočívá v technologii ultra{7}}přesného lapování. Na základě dlouholetých zkušeností s ultra-přesným zpracováním kamene a vybavenými výrobními linkami třídy 10 000 s konstantní{12}}teplotou a vlhkostí, UNPARALLELED rozpracovává úplnou logiku procesu, jak ultra{13}}přesné lapování vylepšuje žulové referenční roviny.
Hrubé broušení a konvenční dokončovací broušení jsou běžné základní zpracovatelské metody v průmyslu, které pouze formují obecný obrys. Při řezání diamantovými brusnými kotouči zůstanou na žulovém povrchu stopy po opracování, mikro-vlnitost a podpovrchové poškození. Přestože platforma vypadá vizuálně plochá a hladká, mikro hrbolky a prohlubně budou interferovat s optickými dráhami a provozem jezdce vzduchových-ložisek v mikronových a submikronových pracovních podmínkách, což má za následek zkreslené zobrazení a opakované chyby polohování. Taková letadla jsou vhodná pouze pro běžná automatizovaná zařízení. U špičkových-zařízení pro polovodičový a optoelektronický průmysl mají tradiční techniky broušení přirozené meze přesnosti. Systematické ultra-přesné lapování je nezbytné pro překonání těchto limitů. Pod povrchem žuly jsou skryty mikrotrhliny a poškození vytlačením vzniklé během hrubého zpracování. Pokud není zcela odstraněno, postupné uvolňování napětí bude neustále zhoršovat přesnost rovinnosti v pozdějším provozu. Ultra-přesné lapování opouští jedno{13}}krokové zpracování a přijímá progresivní broušení od hrubého po jemné brusivo. Velikost zrna brusiva pro každý postup je přísně přizpůsobena kapacitě úběru materiálu, aby byly zcela odstraněny stopy zanechané předchozím procesem, a přeskakování jakékoli fáze broušení je zakázáno. Brusná média na míru jsou vyvinuta pro hustou krystalickou strukturu patentované černé žuly UNPARALLELED®, aby se snížily důlkové škrábance způsobené tvrdými minerálními částicemi. Jsou implementovány standardní cykly výměny brusiva, aby se zabránilo poškrábání hotových povrchů pasivovanými brusivy a aby byla zaručena jednotná kvalita povrchu napříč velkoformátovými-platformami.
Teplo a prach jsou dvě neviditelné překážky pro ultra{0}}přesné lapování. Třecí teplo vznikající při broušení spouští místní mikro-expanzi žuly. Částice suspendované ve vzduchu zachycené v kontaktní ploše způsobí trvalé škrábance na kameni. Otevřené dílny trpí velkými denními{5}}kolísáními teplot. Obrobky vystavené proměnlivým teplotám během zpracování a přenosu budou mít po broušení dočasné rozměrové odchylky. UNPARALLELED provozuje exkluzivní uzavřenou dílnu pro čištění konstantní{10}}teploty a vlhkosti třídy 10 000. Rozsah kolísání teplot je přísně kontrolován a čištění vzduchu probíhá nepřetržitě. Obrobky se během lapování nepřenášejí přes zóny, aby se snížila deformace způsobená střídáním teplot. Regulace teploty potlačuje třecí teplo během broušení a zajišťuje dokončení povrchové úpravy, když si žula zachová stabilní rozměry a uzamkne trvalou, autentickou plochou geometrii. Jednoduchá brusná dráha s vratným pohybem snadno vytváří periodické zvlnění, což vede k nekonzistentnímu úběru materiálu mezi středem a okraji plošin, zejména u velkých monolitických žulových komponentů. Přijímáme planetární kompozitní výkyvné brusné dráhy, abychom eliminovali pravidelné defekty textury. Mezitím je implementováno zónové flexibilní řízení tlaku podle rozměrů platformy, tloušťky desky a průhybu způsobeného vlastní hmotností. Nadměrný tlak spouští nové poškození povrchu, zatímco nedostatečný tlak nedokáže odstranit mikro defekty. Na základě četných procesních zkoušek vytváříme standardizovanou databázi parametrů pro přizpůsobená schémata zpracování, abychom zajistili konzistentní rovinnost celé desky a uspokojili výrobní požadavky velkoformátových platforem AOI a referenčních platforem pro kontrolu waferů.
Nepřetržité vytlačování při mechanickém broušení akumuluje dočasné napětí na povrchu žuly. Údaje o přesnosti naměřené ihned po broušení jsou provizorní; indikátory plochosti se budou měnit s postupným uvolňováním stresu. V kompletním pracovním postupu ultra{2}}přesného lapování je mezi jednotlivými fázemi zpracování uspořádáno statické -vyrovnávací paměti při konstantní teplotě, aby se před následným ořezáváním zcela uvolnilo povrchové napětí. Po všech lapovacích postupech jsou obrobky před komplexní kontrolou udržovány v klidu, dokud se rozměry plně nestabilizují. Tato metoda identifikuje potenciální rizika deformace předem a zajišťuje, že platformy udrží specifikované stupně rovinnosti dlouho po dodání zákazníkům. Stupeň rovinnosti nelze posuzovat pouze podle hodnoty rovinnosti; drsnost a zvlnění jsou oba kritické ukazatele. Některé platformy splňují standardy plochosti, ale fungují špatně ve zvlnění, takže nejsou kompatibilní s optickými systémy s vysokým -rozlišením a aplikacemi vzduchových-ložisek. Během kontroly hotových výrobků používá dílna{11}}prvotřídní metrologické vybavení včetně Mahr, Renishaw a Mitutoyo, aby mohla provádět vícebodové celoplošné vzorkování a komplexní ověřování všech indikátorů. Všechna testovací data jsou sledovatelná a vyhovují mezinárodním standardům přesnosti DIN a ASME. Pouze když více indikátorů dosáhne standardů současně, může být potvrzeno, že platforma splňuje cílový stupeň rovinnosti. Díky kompletním certifikacím trojitého systému ISO, certifikacím CE a RoHS spolupracujeme s univerzitami a metrologickými institucemi po celém světě na provádění nepřetržitého výzkumu procesů a optimalizaci řešení lapování.
Ultra{0}}přesné lapování je mnohem víc než jen prodloužení doby broušení. Představuje integrovaný procesní systém kombinující výběr abraziva, kontrolu prostředí, optimalizaci dráhy, odlehčení pnutí a přesnou inspekci, fungující jako hlavní hnací síla pro vylepšení stupně rovinnosti žulových referenčních rovin. Společnost UNPARALLELED, která slouží výrobcům špičkových{3}}zařízení po celém světě, neustále optimalizuje ultra-procesy přesného lapování, zaměřuje se na výrobu vysoce -stabilních optických metrologických- referenčních komponent ze žuly a dodává spolehlivá referenční řešení pro optickou kontrolu, metrologii polovodičů a přesná automatizační zařízení.